L'équipement ICP-MS a trois tubes, qui sont normalement fabriqués à partir de silice et de créer la partie de la torche de l'équipement. La partie de la torche de l'équipement se trouve dans une bobine, qui est refroidi avec de l'eau, à l'intérieur d'un générateur de fréquence radio. Lorsque les gaz sont dirigés à travers la torche, un champ de fréquences radio est activé. Le gaz à l'intérieur de la bobine devient alors conducteur.